Product
產品介紹
高黏著性易剝離UV膠帶SELFA
電鍍製程中表面保護用膠帶。UV照射後產生GAS，可以從接著體上剝離開來，以耐熱性及剝離技術實現半導體的新製程開發。
產品介紹
特長
UV照射後粘著劑自行產出氮氣使粘力下降，可在晶圓不受外力的情況下實現自行剝離。
用途
■晶圓化學鍍UBM時的背面保護膜、防止晶圓在剝離中受損
用途例
鍍UBM的工藝適用 前處理(alkali堿溶液，PH9） 後處理（強酸，強鹼） 鍍金屬處理（Ni，Au等）特性
一般物性
| 項目 | 單位 | |
| 膠帶厚度 | 基材 | 25μm |
| 粘著劑 | 30μm | |
| 項目 | 單位 | SUS | Si Wafer | 金 | |
| 粘著力 | 初期 | N/25mm | 15.5 | 14.1 | 10.5 |
| UV照射後 | 0 | 0 | 0 | ||
※粘合力：180 度剝離 UV 照射：1000MJ
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